真空泵从选购到使用过程中的注意事项

真空泵从选购到使用过程中的注意事项

莱宝真空泵

1.真空泵工作压强范围的选择。

在选择真空泵的类型时，需要考虑被抽真空室要达到的极限压强和工作压强。每种真空泵都有一定的工作压强范围。

2.真空泵大小的选择 。

选择真空泵的大小，就是确定真空泵的抽气能力。真空泵大小的选择主要根据两点：

（1）根据被抽真空室工作时所需要的工作压强和室内的最大排气流量来决定。每种泵都有其极限压强和最佳抽速压强范围，真空室内压强要在泵的最佳抽速压强范围内。

（2）根据真空室的大小和抽气时间要求来选择。 另外真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

有时候工作压强由单独一种真空泵并不能达到。此时需要正确地将不同的真空泵组合成为真空机组，以满足工作要求。 例如半导体行业真空室体积较大，要求真空室内工作环境清洁无油，抽气时间尽量短、以提高工作效率。这时抽速为15～60立方米/小时（4～16升/秒） 的无油涡旋真空泵，可以与罗茨泵组成无油真空机组，达到接近600立方米/小时（150升/秒）的抽速，实现大抽速、清洁无油的目标，就能够很好的满足半 导体行业镀膜生产线的要求。

3.考虑真空泵对周围环境的影响。

如果工作场所周围环境不允许有污染，红外碳硫分析仪如洁净室等，就要选择无油真空泵。

4.考虑真空泵工作时产生的噪音与振动对工艺过程及环境的影响。